装备系统特点:
. 反应腔与量产装备反应腔完全一致,无需再开发量产工艺,研发工艺可直接用于量产装备大规模生产
理想万里晖公司的工艺实验室坐落于中国(上海)自由贸易试验区临港新片区,致力于高效太阳电池生产设备的升级和工艺提升,具有HJT太阳能电池片生产的完整实验线和整套工艺方案,可为客户提供的技术交流、DEMO及产业化推广等服务。
工艺实验室配套的主要设备、仪器如下:
1. R&D PECVD设备(理想万里晖)
2. 硅片制绒清洗设备
3. 磁控溅射设备
4. 丝网印刷设备
5. 光注入设备
6. I-V测试平台
7. Sinton少子寿命测试仪
8. 膜厚测试椭偏仪
9. FTIR
10. 拉曼测试仪
11. 霍尔测试仪
12. 分光光度计
13. Zeta显微镜
14. 反射率测试仪
1. 硅片制绒清洗设备
2. R&D PECVD设备(理想万里晖)
3. 磁控溅射设备
4. 丝网印刷设备
5. 光注入设备
6. I-V测试平台
7. Sinton少子寿命测试仪
8. 膜厚测试椭偏仪
9. FTIR
10. 拉曼测试仪
11. 霍尔测试仪
12. 分光光度计
13. Zeta显微镜
14. 反射率测试仪
15. 二次元