装备系统特点与最新进展：
. 大尺寸、多层等离子体反应腔和真空下快速传输系统，降低 GW 设备成本 “双真空” 反应腔设计
. 等离子体系统:等离子体快速稳定，RF 频率可选 13.56MHz 和 40.68MHz
. 客户 HJT(异质结)电池最高效率:26.81%(ISFH) 客户 HBC 电池最高效率:27.3%(ISFH) 客户钙钛矿叠层电池最高效率:34.6%(ESTI)
PECVD TEST BENCH
实验设备，工艺可导入量产设备
OAK-D
产能：250MW/年
VHF快速双面微晶
OAK-Q
产能：600MW/年
VHF快速双面微晶
OAK-S
产能：1GW/年
VHF双面微晶
地址：上海市松江区九亭镇叶亭路28号4栋5层 
Tel : 021-66668888