装备系统特点与最新进展：
. 大跨度大直径靶管，保证使用周期大于 30 天
. 超强磁棒(靶面 >1300 高斯)，获得高离化率、低阻抗、低溅射电压 配置多段气氛隔离功能，兼容叠层膜系开发、无铟靶材 多段分区独立气氛调节，获得更优的膜层均匀性
. 载板水汽管理系统 , 配置多级冷阱和封闭式载板回传系统 自动开盖系统，提高使用和维护便利性，亦可满足无行车条件使用
BAMBOO TEST BENCH
实验室设备
BAMBOO 2.0
产能：600MW/年
BAMBOO 3.0
产能：1GW/年
地址：上海市松江区九亭镇叶亭路28号4栋5层 
Tel : 021-66668888