装备系统特点与最新进展：
.兼容硅片尺寸182R-210R
.可定制调整槽体数量，配置以及功能 设备整体排风、酸性区域、碱性区域硬隔离，酸碱槽体机械手合理分布，避免交叉污染 高效的可循环清洗，槽体循环量通过变频器调节
.含碱的模组抽风道设计热水清洗功能，有效防止抽风道内碱结晶
实验室设备
LOTOS 2.0
产能：600MW/年
LOTOS 3.0
产能：1GW/年
地址：上海市松江区九亭镇叶亭路28号4栋5层 
Tel : 021-66668888